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1、等离子体的定义:
等离子体是通过一定的手段,(如加热、直流、射频、激光、微波等形式激励)使气体分子离解或电离产生的电子、离子、原子、分子或自由基等粒子所组成的集合体。无论气体是部分电离还是完全电离,等离子体中的正电荷总数和负电荷总数在数值上总是相等的,故称之为等离子体。
2、等离子体特点:
a)导电性
b)与磁场的可作用性
c)电准中性
d)活性强,激发的亚稳态原子多,化学反应容易进行,是一种很有发展前途、用途广泛的新工艺
3、等离子体分类:
I)粒子能量分类:a)高温等离子体 b)低温等离子体
II)粒子密度分类: a)致密等离子体(或高压等离子体)
b)稀薄等离子体(或低压等离子体)
III)产生等离子的途径分类: a) 燃烧等离子体 b) 电弧等离子体
c) 高频等离子体 d)微波等离子体
e)激光等离子体等
4、等离子体的应用:
等离子体显示器,等离子体电视,等离子体防雷技术、等离子体隐型技术、等离子体杀菌技术、等离子体喷涂技术、等离子体切割技术、等离子体化学气相沉积技术、等离子体光源
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